首先廢氣經均流板過濾棉進入設備時，由設備高壓穩定高頻放電，瞬間產生1.5萬伏特至2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階段中，長鏈、多鏈廢氣分子由於鍵能較弱，約束力較小。很容易被擊穿化學鍵破裂，從而變成小分子化合物，此為第一階段淨化。

其次，隨廢氣進入設備的水分子、氧分子被高壓擊穿斷裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子等。這些強氧化基團與廢氣分子充分接觸氧化，加快反應進程。整個反應幹淨，能量利用率高，淨化效率非常高。

等離子功能段可以激發汙染物能量，促使長鏈、多鏈汙染物分子的分子鍵斷裂重組，使難處理的汙染物降解為較易處理的低碳汙染物。

從等離子體反應過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到汙染物分子中去，那些獲得能量的汙染物分子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團。然後這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰撞後生成穩定產物和熱。

另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。